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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] 钛金属用什么气体进行干法刻蚀?用氟基气体可以刻蚀吗?

钛金属可以用什么金属进行刻蚀,有相关文献链接吗?钛能用氟基气体刻蚀吗
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