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小y_无心

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[求助] 钛金属用什么气体进行干法刻蚀？用氟基气体可以刻蚀吗？

钛金属可以用什么金属进行刻蚀，有相关文献链接吗？钛能用氟基气体刻蚀吗

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1楼 2019-03-21 00:42:48

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