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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】AlN薄膜

请问有在硅片上做AlN薄膜的朋友吗?
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谢谢大家的帮助!
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

继续...

硅片上生长的氮化铝薄膜可以做红外测试吗?
谢谢大家的帮助!
2楼2009-05-13 19:59:10
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tingyee

金虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流! 5-13 21:01
应该可以测,但是要注意你的硅片,掺杂硅片可是不能用的
3楼2009-05-13 20:22:54
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

测试

XRD测试结果上如果毛刺很多,是什么原因呢?
谢谢大家的帮助!
4楼2009-05-17 14:33:07
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szlhfgd

铁虫 (初入文坛)


ufoer(金币+1,VIP+0):鼓励新虫 5-18 20:48
结晶质量不好,存在许多非晶组织
5楼2009-05-17 18:49:26
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dannyjackp

铁杆木虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-18 20:48
引用回帖:
Originally posted by 娃娃虫8956 at 2009-5-17 14:33:
XRD测试结果上如果毛刺很多,是什么原因呢?

结晶度不够好,我碰到过
尝试加热基片到500度以上,退火处理。
6楼2009-05-17 21:18:33
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

感谢!

谢谢楼上各位!
谢谢大家的帮助!
7楼2009-05-22 12:56:37
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