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lbaishankl

金虫 (小有名气)

[求助] 求助在测4200时加栅压电极炸掉是因为什么?

我是做二维材料方向的,在测二维材料晶体管的时候(器件具体条件:300nmSiO2做绝缘层,背栅测试,手撕WSe2,电子束曝光直写,热蒸镀电极Pd/Au)测试输出曲线的时候情况正常,但是测转移曲线的时候,在加gate的时候不定时出现炸器件的现象。就是器件的两个电极带着连接的材料炸飞。探针台和银浆引导线都试过,都会出现类似的情况。加栅压范围在+-80V之间。所用测试设备Keithely 4200. 我们之前去过其他组测试,别人的设备调试的好,不会炸电极。回来一测试,同样的器件还是会不定时的炸。尤其是导电性好的器件。初步怀疑设备提调试问题。请问有木有大神知道怎么解决?
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天道酬勤
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


3楼2019-04-07 21:40:41
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SSTengfei

木虫 (知名作家)

2楼2019-04-03 21:26:26
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草稿箱

金虫 (知名作家)

半导体小王子

2019关键字:工作步入正轨!
4楼2019-04-08 19:46:43
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rugis

新虫 (初入文坛)

请问您的背栅压是怎么加上的呀?能直接划破绝缘层把探针连在Si上吗?
5楼2022-05-06 13:00:43
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