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lbaishankl金虫 (小有名气)
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[求助]
求助在测4200时加栅压电极炸掉是因为什么？
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| 我是做二维材料方向的，在测二维材料晶体管的时候（器件具体条件：300nmSiO2做绝缘层，背栅测试，手撕WSe2，电子束曝光直写，热蒸镀电极Pd/Au）测试输出曲线的时候情况正常，但是测转移曲线的时候，在加gate的时候不定时出现炸器件的现象。就是器件的两个电极带着连接的材料炸飞。探针台和银浆引导线都试过，都会出现类似的情况。加栅压范围在+-80V之间。所用测试设备Keithely 4200. 我们之前去过其他组测试，别人的设备调试的好，不会炸电极。回来一测试，同样的器件还是会不定时的炸。尤其是导电性好的器件。初步怀疑设备提调试问题。请问有木有大神知道怎么解决？ |
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