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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助在测4200时加栅压电极炸掉是因为什么？
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lbaishankl

金虫 (小有名气)

[求助] 求助在测4200时加栅压电极炸掉是因为什么？

我是做二维材料方向的，在测二维材料晶体管的时候（器件具体条件：300nmSiO2做绝缘层，背栅测试，手撕WSe2，电子束曝光直写，热蒸镀电极Pd/Au）测试输出曲线的时候情况正常，但是测转移曲线的时候，在加gate的时候不定时出现炸器件的现象。就是器件的两个电极带着连接的材料炸飞。探针台和银浆引导线都试过，都会出现类似的情况。加栅压范围在+-80V之间。所用测试设备Keithely 4200. 我们之前去过其他组测试，别人的设备调试的好，不会炸电极。回来一测试，同样的器件还是会不定时的炸。尤其是导电性好的器件。初步怀疑设备提调试问题。请问有木有大神知道怎么解决？
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天道酬勤
1楼 2019-03-18 09:32:23
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SSTengfei

木虫 (知名作家)
没遇到过

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2楼2019-04-03 21:26:26
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
放电，电极之间离得太近

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3楼2019-04-07 21:40:41
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草稿箱

金虫 (知名作家)

半导体小王子
注意安全

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2019关键字:工作步入正轨！
4楼2019-04-08 19:46:43
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rugis

新虫 (初入文坛)
请问您的背栅压是怎么加上的呀？能直接划破绝缘层把探针连在Si上吗？
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5楼2022-05-06 13:00:43
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Z780283717

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by rugis at 2022-05-06 13:00:43
请问您的背栅压是怎么加上的呀？能直接划破绝缘层把探针连在Si上吗？

这样也可以  或者说探针台底部可以导电

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6楼2024-03-01 12:16:36
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