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mawenlu123

木虫 (正式写手)

[交流] 关于极片XPS刻蚀问题

各位,我这里遇到一个XPS刻蚀的问题,需要请教大家一下。我这里老师让我提供刻蚀的电流电压大小,和刻蚀面积。刻蚀面积倒是在文献能够查到,电流和电压查不到,不知道文章中哪部分会提供。请问一般采取多少电流电压呢?我做的是三元富锂材料。

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mawenlu123

木虫 (正式写手)

2楼2019-03-15 15:45:47
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mawenlu123

木虫 (正式写手)

3楼2019-03-15 16:59:13
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DoctorMMM

新虫 (著名写手)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
mawenlu123(小毛球代发): 金币+2 2019-03-20 21:37:41
一般就在0.9uA,2mm左右刻蚀面积,刻蚀能量在1-2keV就好

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4楼2019-03-20 21:28:45
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超超超鸭

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问您的刻蚀深度大概是多少呀

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5楼2021-09-19 20:04:18
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