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mawenlu123木虫 (正式写手)
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[交流]
关于极片XPS刻蚀问题
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各位,我这里遇到一个XPS刻蚀的问题,需要请教大家一下。我这里老师让我提供刻蚀的电流电压大小,和刻蚀面积。刻蚀面积倒是在文献能够查到,电流和电压查不到,不知道文章中哪部分会提供。请问一般采取多少电流电压呢?我做的是三元富锂材料。 发自小木虫Android客户端 |
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mawenlu123
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2楼2019-03-15 15:45:47
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3楼2019-03-15 16:59:13
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一般就在0.9uA,2mm左右刻蚀面积,刻蚀能量在1-2keV就好 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2019-03-20 21:28:45
5楼2021-09-19 20:04:18









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