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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 关于极片XPS刻蚀问题
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mawenlu123

木虫 (正式写手)

[交流] 关于极片XPS刻蚀问题

各位，我这里遇到一个XPS刻蚀的问题，需要请教大家一下。我这里老师让我提供刻蚀的电流电压大小，和刻蚀面积。刻蚀面积倒是在文献能够查到，电流和电压查不到，不知道文章中哪部分会提供。请问一般采取多少电流电压呢？我做的是三元富锂材料。

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1楼 2019-03-15 15:44:52
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mawenlu123

木虫 (正式写手)
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2楼2019-03-15 15:45:47
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mawenlu123

木虫 (正式写手)
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3楼2019-03-15 16:59:13
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DoctorMMM

新虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
mawenlu123(小毛球代发): 金币+2 2019-03-20 21:37:41
一般就在0.9uA，2mm左右刻蚀面积，刻蚀能量在1-2keV就好

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4楼2019-03-20 21:28:45
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超超超鸭

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问您的刻蚀深度大概是多少呀

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5楼2021-09-19 20:04:18
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