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mawenlu123木虫 (正式写手)
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[交流]
关于极片XPS刻蚀问题
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各位，我这里遇到一个XPS刻蚀的问题，需要请教大家一下。我这里老师让我提供刻蚀的电流电压大小，和刻蚀面积。刻蚀面积倒是在文献能够查到，电流和电压查不到，不知道文章中哪部分会提供。请问一般采取多少电流电压呢？我做的是三元富锂材料。 发自小木虫Android客户端 |
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mawenlu123
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2楼2019-03-15 15:45:47
mawenlu123
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mawenlu123(小毛球代发): 金币+2 2019-03-20 21:37:41
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一般就在0.9uA，2mm左右刻蚀面积，刻蚀能量在1-2keV就好 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2019-03-20 21:28:45
5楼2021-09-19 20:04:18
