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爱笑的刘少

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

我用直流磁控溅射镀膜时,第一次镀膜挺好的,但是我想再在上面镀点别的东西,发现第一次镀的会发雾,模糊,这是怎么回事啊?大家有谁能给我解释一下吗?怎么改进啊,谢谢!!

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格雷森

新虫 (初入文坛)

看你这两次是什么材料了,如果第一层材料容易氧化或者比较活泼,而且一二层溅射时间间隔太长,这种就不太好

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6楼2019-05-29 08:43:02
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查看全部 6 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)

说一说,两次都镀了什么膜呢
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2019-03-07 15:13:38
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cz20727

木虫 (著名写手)

看材料,如果想镀两个膜层,最好一次性镀完,中途不要停下来,以免造成膜层污染

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3楼2019-03-07 16:48:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

第一次镀的,如果不好好保存,会很容易被氧化、沾污什么的,所以会发雾。所以一般会氮气密封保存。
而多层膜,一般都一次性在溅射设备里镀好,不要出真空腔室。如果不是多靶设备,就要严格保存样品。
5楼2019-03-13 14:13:57
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