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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射
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爱笑的刘少

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

我用直流磁控溅射镀膜时，第一次镀膜挺好的，但是我想再在上面镀点别的东西，发现第一次镀的会发雾，模糊，这是怎么回事啊？大家有谁能给我解释一下吗？怎么改进啊，谢谢！！

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1楼 2019-03-07 14:48:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

第一次镀的，如果不好好保存，会很容易被氧化、沾污什么的，所以会发雾。所以一般会氮气密封保存。
而多层膜，一般都一次性在溅射设备里镀好，不要出真空腔室。如果不是多靶设备，就要严格保存样品。
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5楼2019-03-13 14:13:57
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
说一说，两次都镀了什么膜呢
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2019-03-07 15:13:38
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cz20727

木虫 (著名写手)
看材料，如果想镀两个膜层，最好一次性镀完，中途不要停下来，以免造成膜层污染

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3楼2019-03-07 16:48:16
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格雷森

新虫 (初入文坛)
看你这两次是什么材料了，如果第一层材料容易氧化或者比较活泼，而且一二层溅射时间间隔太长，这种就不太好

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6楼2019-05-29 08:43:02
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