24小时热门版块排行榜    

查看: 1297  |  回复: 12
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜厚度的测试

请教各位高人,怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊,薄膜式长在基片上的。
谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyifei9286

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by 伽南香8316 at 2009-6-23 10:59:
1、台阶仪测试较准确,但需要基底与薄膜之间形成较明显的台阶。
2、椭偏仪
推荐前者。

可能是我们学院的台阶仪不太好吧,测试的是在50,60nm级别的,而我的膜差不多也就是那个范围,所以感觉不是很准啊,前后几次测量的差个10来nm的
7楼2009-06-23 12:55:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中


paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-11 09:53
用X射线全反射方法(XRR)测,及通过薄膜对X光的全反射原理来测定
3楼2009-05-11 08:03:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yonay

金虫 (小有名气)


paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-11 09:53
XRD全反射
需要知道基底及膜各是什么材料
通过对振荡波形的拟合即可得厚度;
如果是非金属膜且透明,可以考虑用椭偏仪测试。
4楼2009-05-11 08:14:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

伽南香8316

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 6-23 11:50
1、台阶仪测试较准确,但需要基底与薄膜之间形成较明显的台阶。
2、椭偏仪
推荐前者。
6楼2009-06-23 10:59:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见