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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 薄膜厚度的测试
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

[交流] 薄膜厚度的测试

请教各位高人，怎么通过XRD测试薄膜的厚度啊，薄膜式长在基片上的。
谢谢
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镀膜与膜层或涂层检测

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1楼 2009-05-10 17:39:24
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

伽南香8316

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 6-23 11:50
1、台阶仪测试较准确，但需要基底与薄膜之间形成较明显的台阶。
2、椭偏仪
推荐前者。
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6楼2009-06-23 10:59:07
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普通回帖

angellove3626
2楼2009-05-10 17:39:53
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中
★
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-11 09:53
用X射线全反射方法（XRR）测，及通过薄膜对X光的全反射原理来测定
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3楼2009-05-11 08:03:22
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yonay

金虫 (小有名气)
★
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-11 09:53
XRD全反射
需要知道基底及膜各是什么材料
通过对振荡波形的拟合即可得厚度；
如果是非金属膜且透明，可以考虑用椭偏仪测试。
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4楼2009-05-11 08:14:07
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wenyun0876

木虫 (正式写手)

老木虫
同意2、3楼观点
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胸无块垒心常泰，腹有诗书气自华！
5楼2009-05-11 08:25:51
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 伽南香8316 at 2009-6-23 10:59:
1、台阶仪测试较准确，但需要基底与薄膜之间形成较明显的台阶。
2、椭偏仪
推荐前者。

可能是我们学院的台阶仪不太好吧，测试的是在50，60nm级别的，而我的膜差不多也就是那个范围，所以感觉不是很准啊，前后几次测量的差个10来nm的
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7楼2009-06-23 12:55:51
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txd1984

同意观点

同意二楼三楼观点
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8楼2009-07-12 16:54:22
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bryano

木虫 (正式写手)
SEM看不了？
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9楼2009-07-12 18:59:32
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by bryano at 2009-7-12 18:59:
SEM看不了？

应该是看断面吧，我还没有做，怕误差太大了，不能够精确
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10楼2009-07-19 11:02:20
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