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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 实验室用光刻机，预算50w
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我好慌?

新虫 (小有名气)

[求助] 实验室用光刻机，预算50w 已有3人参与

50w以内的实验室用光刻机，大家有推荐的厂商型号吗？
大家可以交流一下自己实验室用的什么型号价位光刻机吗？
是不是一定要放在超净间呢？
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@yswyx @yswyx 发自小木虫Android客户端
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1楼 2019-02-25 10:53:37
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

预算少了点，国产的问问吧，自己网上查查四川南光，中电45所
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9楼2019-03-05 15:20:29
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专家倒

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个和你要达到的精度有关系吧，还有用在那方面？是三代半导体的stepper还是直写的？
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生命在于折腾
2楼2019-02-25 14:11:31
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我好慌?

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-25 14:11:31
这个和你要达到的精度有关系吧，还有用在那方面？是三代半导体的stepper还是直写的？

精度就um级别，主要用来做一些微结构。
直写？这个还没有了解过

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3楼2019-02-26 14:43:39
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专家倒

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我好慌? at 2019-02-26 14:43:39
精度就um级别，主要用来做一些微结构。
直写？这个还没有了解过
...

1um？那接触式曝光应该可以，手动的可以吗？

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生命在于折腾
4楼2019-02-26 16:47:42
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