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我好慌?

新虫 (小有名气)

[求助] 实验室用光刻机,预算50w 已有3人参与

50w以内的实验室用光刻机,大家有推荐的厂商型号吗?
大家可以交流一下自己实验室用的什么型号价位光刻机吗?
是不是一定要放在超净间呢?
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@yswyx @yswyx 发自小木虫Android客户端
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-25 14:11:31
这个和你要达到的精度有关系吧,还有用在那方面?是三代半导体的stepper还是直写的?

精度就um级别,主要用来做一些微结构。
直写?这个还没有了解过

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3楼2019-02-26 14:43:39
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专家倒

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个和你要达到的精度有关系吧,还有用在那方面?是三代半导体的stepper还是直写的?
生命在于折腾
2楼2019-02-25 14:11:31
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专家倒

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 我好慌? at 2019-02-26 14:43:39
精度就um级别,主要用来做一些微结构。
直写?这个还没有了解过
...

1um?那接触式曝光应该可以,手动的可以吗?

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生命在于折腾
4楼2019-02-26 16:47:42
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-26 16:47:42
1um?那接触式曝光应该可以,手动的可以吗?
...

您具体讲讲呢?
具体我也不是很懂

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5楼2019-02-26 18:00:13
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