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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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我好慌?

新虫 (小有名气)

[求助] 实验室用光刻机,预算50w 已有3人参与

50w以内的实验室用光刻机,大家有推荐的厂商型号吗?
大家可以交流一下自己实验室用的什么型号价位光刻机吗?
是不是一定要放在超净间呢?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

看你做哪方面用了。50W的预算买国产的有点儿多,可以顺带把匀胶机和热板买了。
可以联系苏州美图半导体,LED光源的光刻机,单色。
其它的国产推荐中科院成都光电所。
具体的还要看你的用途,才能知道哪个适合你,可以联系我。
超净间是一定要的,这个钱千万不能省。
11楼2019-03-13 11:03:12
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普通回帖

专家倒

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个和你要达到的精度有关系吧,还有用在那方面?是三代半导体的stepper还是直写的?
生命在于折腾
2楼2019-02-25 14:11:31
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-25 14:11:31
这个和你要达到的精度有关系吧,还有用在那方面?是三代半导体的stepper还是直写的?

精度就um级别,主要用来做一些微结构。
直写?这个还没有了解过

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3楼2019-02-26 14:43:39
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专家倒

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 我好慌? at 2019-02-26 14:43:39
精度就um级别,主要用来做一些微结构。
直写?这个还没有了解过
...

1um?那接触式曝光应该可以,手动的可以吗?

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生命在于折腾
4楼2019-02-26 16:47:42
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-02-26 16:47:42
1um?那接触式曝光应该可以,手动的可以吗?
...

您具体讲讲呢?
具体我也不是很懂

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5楼2019-02-26 18:00:13
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mudchem

新虫 (著名写手)

6楼2019-02-26 21:26:09
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by mudchem at 2019-02-26 21:26:09
50万 光刻机?

咋了?

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7楼2019-02-27 14:37:55
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专家倒

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 我好慌? at 2019-02-26 18:00:13
您具体讲讲呢?
具体我也不是很懂
...

精度1um以上的话,就用接触试曝光就可以,手动的足够了,方便留个联系方式吗?我们私聊一下

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生命在于折腾
8楼2019-02-27 18:46:44
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

预算少了点,国产的问问吧,自己网上查查四川南光,中电45所
9楼2019-03-05 15:20:29
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我好慌?

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by gyxzby at 2019-03-05 15:20:29
预算少了点,国产的问问吧,自己网上查查四川南光,中电45所

这两个有了解过哦,就是想看看大家的评价。或者分享自己用的设备

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10楼2019-03-05 17:20:02
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