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【请教】问下sem和rbs对薄膜样品有损伤么
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| 生长的SnO2膜,做sem,拍完照片后的区域被打化了,影响其结构及电学特性么?还有rbs,离子源是2.1MeV的氦2离子,测试后对膜有影响么 |
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2楼2009-05-04 09:20:50
csuhcb2000
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