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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】问下sem和rbs对薄膜样品有损伤么
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】问下sem和rbs对薄膜样品有损伤么

生长的SnO2膜，做sem，拍完照片后的区域被打化了，影响其结构及电学特性么？还有rbs，离子源是2.1MeV的氦2离子，测试后对膜有影响么
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1楼 2009-05-04 08:47:22
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sourbing

木虫 (正式写手)
★ ★
zhuzhen(金币+1):谢谢参与
zhuzhen(金币+1,VIP+0): 5-19 11:03
电子束强度减弱一点不行么？亮度不够？
打坏了结构肯定变了。。。
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2楼2009-05-04 09:20:50
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csuhcb2000

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主
★
zhuzhen(金币+1):谢谢参与
膜很薄的话肯定有影响的。有一回我把透射样品用SEM观察进行整个样品的元素能谱分析，样被毁了，电子束将其击坏。
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复合粉体材料；热喷涂涂层
3楼2009-05-04 09:25:20
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by sourbing at 2009-5-4 09:20:
电子束强度减弱一点不行么？亮度不够？
打坏了结构肯定变了。。。

倒有减速模式，但得加钱啊。打坏的区域只有几十微米*几十微米，此区域的微观结构肯定变了，我想问下宏观的电学特性会因为这个点而变化么
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4楼2009-05-04 14:29:11
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