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【请教】问下sem和rbs对薄膜样品有损伤么
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| 生长的SnO2膜，做sem，拍完照片后的区域被打化了，影响其结构及电学特性么？还有rbs，离子源是2.1MeV的氦2离子，测试后对膜有影响么 |
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2楼2009-05-04 09:20:50
csuhcb2000
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3楼2009-05-04 09:25:20
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