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【求助】磁控溅射中的气压问题
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大家好： 我是用磁控溅射长氧化锌种子，现在工作参数是，0.4帕，氧气和氩气的表观流量比是5：15，温度是室温，溅射5分钟。 我想提高一下氧分压，但是，确实不知道怎么改变。我不知道，压强大体在什么范围，氧气和氩气的表观流量比控制在多大？ |
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