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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射中的气压问题
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shanhaiyan9185

[交流] 【求助】磁控溅射中的气压问题

大家好：
      我是用磁控溅射长氧化锌种子，现在工作参数是，0.4帕，氧气和氩气的表观流量比是5：15，温度是室温，溅射5分钟。
      我想提高一下氧分压，但是，确实不知道怎么改变。我不知道，压强大体在什么范围，氧气和氩气的表观流量比控制在多大？
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反应磁控溅射

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1楼 2009-04-30 21:11:41
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主
★ ★ ★ ★
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zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:11
在制备氧化锌时，氧分压对其沉积速率影响很大，对其他性能也会产生影响，所以改变一次氧分压，首先测一次沉积速率，保证样品的厚度相同，那样才有可比性吧！
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论文投稿区欢迎您！
2楼2009-07-09 19:45:58
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lujiami

木虫 (正式写手)

木木
★ ★ ★
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zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:11
增大氧气流量就行了吧，至于具体流量是多少我也不清楚，我不是做氧化锌的，你可以做几个试试吧，看哪个的性质好些，慢慢摸索吧，
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向日葵告诉我，只要面对阳光努力向上，日子就会变得单纯而美好
3楼2009-07-10 22:02:12
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deskmade

铁杆木虫 (正式写手)

达人
慢慢摸索吧，我也是搞溅射的
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天高任鸟飞海阔凭鱼跃
4楼2009-07-10 22:25:04
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★ ★
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zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:11
先看看文献他们用的是哪个变量段的，用正交试验法设计方案，做实验。
不过你用反应磁控溅射做zno，如果仪器一般，效果可能不佳，因为氧对电阻影响太大了。
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5楼2009-07-11 10:32:30
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六198

金虫 (正式写手)
★ ★
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zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:12
提高氧气流量比就可以了
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穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
6楼2009-07-11 10:44:26
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:12
加大氧气流量就可以了，配比压试验摸索后确定
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
7楼2009-07-11 11:09:45
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bhlt318

铁虫 (初入文坛)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:12
控制气体流量
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8楼2009-07-13 10:08:10
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gold1987

木虫 (职业作家)
★ ★ ★
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再确定了氩气流量的情况下  逐步提高氧含量
    前面有兄弟说过  这个和电导率有很大关系
建议使用台阶仪测量厚度
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9楼2009-07-16 19:31:58
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
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如果用射频溅射，氧气氩气比例在1：50左右应该就没问题，氧气影响不会很大；但如果是反应溅射的话，在溅射电压能稳定的范围内氧应该是越多越容易生成氧化锌的。总的溅射气压一般为0.5~2Pa，不过不同的溅射仪所适用的条件也是不同的，楼主最好多看看文献。
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10楼2009-07-20 20:23:53
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