| 查看: 1887 | 回复: 13 | ||||
| 当前主题已经存档。 | ||||
[交流]
【求助】磁控溅射中的气压问题
|
||||
|
大家好： 我是用磁控溅射长氧化锌种子，现在工作参数是，0.4帕，氧气和氩气的表观流量比是5：15，温度是室温，溅射5分钟。 我想提高一下氧分压，但是，确实不知道怎么改变。我不知道，压强大体在什么范围，氧气和氩气的表观流量比控制在多大？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 反应磁控溅射 |
» 猜你喜欢
304求调剂（085602，过四级，一志愿985）
已经有18人回复
-
软工学硕299求调剂
已经有6人回复
-
一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂
已经有6人回复
-
化工调剂303分，过四级
已经有30人回复
-
264求调剂
已经有4人回复
-
生物工程求调剂
已经有9人回复
-
266求调剂
已经有23人回复
-
283求调剂
已经有15人回复
-
22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级，数据分析国奖
已经有5人回复
-
286求调剂
已经有17人回复
木子小木虫
荣誉版主 (知名作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 3.279
- 金币: 13826.8
- 散金: 1463
- 红花: 17
- 沙发: 69
- 帖子: 7293
- 在线: 303小时
- 虫号: 801190
- 注册: 2009-06-30
- 专业: 应用有机化学
- 管辖: 论文投稿交流
2楼2009-07-09 19:45:58
lujiami
木虫 (正式写手)
木木
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2348.7
- 帖子: 533
- 在线: 30.5小时
- 虫号: 670580
- 注册: 2008-12-08
- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
3楼2009-07-10 22:02:12
deskmade
铁杆木虫 (正式写手)
达人
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 8453.8
- 帖子: 828
- 在线: 36.9小时
- 虫号: 799624
- 注册: 2009-06-26
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2009-07-10 22:25:04
5楼2009-07-11 10:32:30
六198
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1542.4
- 散金: 20
- 红花: 2
- 帖子: 697
- 在线: 92小时
- 虫号: 470500
- 注册: 2007-11-29
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2009-07-11 10:44:26
sun-boymlh
铜虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 36.2
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 411
- 在线: 101.2小时
- 虫号: 757723
- 注册: 2009-04-26
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2009-07-11 11:09:45
8楼2009-07-13 10:08:10
gold1987
木虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 0.016
- 金币: 3535.7
- 散金: 20
- 红花: 2
- 帖子: 3434
- 在线: 229.6小时
- 虫号: 443868
- 注册: 2007-10-27
- 性别: GG
- 专业: 元素化学
9楼2009-07-16 19:31:58
zhangletao1986
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 693
- 帖子: 52
- 在线: 7小时
- 虫号: 459437
- 注册: 2007-11-14
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2009-07-20 20:23:53
