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shanhaiyan9185

[交流] 【求助】磁控溅射中的气压问题

大家好:
      我是用磁控溅射长氧化锌种子,现在工作参数是,0.4帕,氧气和氩气的表观流量比是5:15,温度是室温,溅射5分钟。
      我想提高一下氧分压,但是,确实不知道怎么改变。我不知道,压强大体在什么范围,氧气和氩气的表观流量比控制在多大?
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主

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在制备氧化锌时,氧分压对其沉积速率影响很大,对其他性能也会产生影响,所以改变一次氧分压,首先测一次沉积速率,保证样品的厚度相同,那样才有可比性吧!
论文投稿区欢迎您!
2楼2009-07-09 19:45:58
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lujiami

木虫 (正式写手)

木木

★ ★ ★
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增大氧气流量就行了吧,至于具体流量是多少我也不清楚,我不是做氧化锌的,你可以做几个试试吧,看哪个的性质好些,慢慢摸索吧,
向日葵告诉我,只要面对阳光努力向上,日子就会变得单纯而美好
3楼2009-07-10 22:02:12
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deskmade

铁杆木虫 (正式写手)

达人

慢慢摸索吧,我也是搞溅射的
天高任鸟飞海阔凭鱼跃
4楼2009-07-10 22:25:04
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★ ★
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先看看文献他们用的是哪个变量段的,用正交试验法设计方案,做实验。
不过你用反应磁控溅射做zno,如果仪器一般,效果可能不佳,因为氧对电阻影响太大了。
5楼2009-07-11 10:32:30
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六198

金虫 (正式写手)

★ ★
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提高氧气流量比就可以了
穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
6楼2009-07-11 10:44:26
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

★ ★
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加大氧气流量就可以了,配比压试验摸索后确定
http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
7楼2009-07-11 11:09:45
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bhlt318

铁虫 (初入文坛)


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控制气体流量
8楼2009-07-13 10:08:10
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gold1987

木虫 (职业作家)

★ ★ ★
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再确定了氩气流量的情况下  逐步提高氧含量
    前面有兄弟说过  这个和电导率有很大关系
建议使用台阶仪测量厚度
9楼2009-07-16 19:31:58
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

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如果用射频溅射,氧气氩气比例在1:50左右应该就没问题,氧气影响不会很大;但如果是反应溅射的话,在溅射电压能稳定的范围内氧应该是越多越容易生成氧化锌的。总的溅射气压一般为0.5~2Pa,不过不同的溅射仪所适用的条件也是不同的,楼主最好多看看文献。
10楼2009-07-20 20:23:53
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