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Tonia0

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[交流] SEM的EDS测试元素比例问题已有6人参与

知道EDS是定性、半定量测试。

样品是生长在Si基板上的，元素A和Si可以生成硅化物。做了两个不同煅烧温度的样品。

测试两个样品，每个样品都取了两个测试点，其中第一个样中A元素含量是9%和2%，第二个样中A元素含量是24%和22%。能否说明第二个样中A元素的占比比第一个样多呢？

注：XRD两个样品都测了，生成化合物成分一致。

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1楼2018-12-21 09:35:05

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Tonia0

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百度找到的EDS测试误差标准

EDS分析的相对误差也有相应的规定：
a) 主元素(>20%wt)允许的相对误差￡ ±5％。
b) ±3%wt ￡含量￡ 20%wt的元素，允许的相对误差￡ 10％。
c) ±1%wt ￡含量￡ 3%wt的元素，允许的相对误差￡ 30％。
d) ±0.5%wt ￡含量￡ 1%wt的元素，允许的相对误差￡ 50％。
对于不平坦试样，可用三点分析结果的的平均值表示，或在总量误差小于等于±5％的情况下，如确认没有漏测元素时，允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于±5％，只能作为半定量结果处理。