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sanmao0203

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】zns/cds超晶格

请问有没有用磁控溅射做超晶格的同学啊?
可否告知一下如何控制膜厚的
多谢啦
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life


caocao4735(金币+1,VIP+0):谢谢回答 4-20 22:08
我做过,哈哈。控制膜厚还是老办法啊,时间!只不过来回转靶位那是相当麻烦,尤其是当你的superlattice stacking periodicity足够小的时候,做一次能把人累死
xxxxxxxxxxxxx
2楼2009-04-20 21:55:10
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