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bandaoti

[交流] 【求助】磁控溅射永磁靶上能做铁磁材料吗

磁控溅射永磁靶上能做铁磁材料吗
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by ufoer at 2009-4-18 12:15:
不过如果实在没有电磁靶的话,可以考虑做以下两点工作。第一,把你的靶材切得比较薄,1mm左右吧,这样能减少磁力线的吸收。第二,更新一下永磁靶后面的磁铁,换成NbFeB等强磁性物质。

学习了
4楼2009-04-18 19:18:03
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

★ ★
hslining(金币+2,VIP+0):回答及时 4-18 12:21
够呛,应该起不了辉。一般永磁靶的表面场强只有几百个高斯。如果铁磁性材料磁导率特别高的话,像NiFe合金的话,则会屏蔽所有的磁力线。这时,只有用电磁靶才能起辉。
xxxxxxxxxxxxx
2楼2009-04-18 12:13:29
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

★ ★
hslining(金币+2,VIP+0):回答详细! 4-18 12:21
不过如果实在没有电磁靶的话,可以考虑做以下两点工作。第一,把你的靶材切得比较薄,1mm左右吧,这样能减少磁力线的吸收。第二,更新一下永磁靶后面的磁铁,换成NbFeB等强磁性物质。
xxxxxxxxxxxxx
3楼2009-04-18 12:15:35
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bandaoti

5楼2009-04-21 11:23:57
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