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bandaoti

[交流] 【求助】磁控溅射永磁靶上能做铁磁材料吗

磁控溅射永磁靶上能做铁磁材料吗
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1楼 2009-04-18 10:29:59
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
★ ★
hslining(金币+2,VIP+0):回答及时 4-18 12:21
够呛，应该起不了辉。一般永磁靶的表面场强只有几百个高斯。如果铁磁性材料磁导率特别高的话，像NiFe合金的话，则会屏蔽所有的磁力线。这时，只有用电磁靶才能起辉。
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xxxxxxxxxxxxx
2楼2009-04-18 12:13:29
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
★ ★
hslining(金币+2,VIP+0):回答详细！ 4-18 12:21
不过如果实在没有电磁靶的话，可以考虑做以下两点工作。第一，把你的靶材切得比较薄，1mm左右吧，这样能减少磁力线的吸收。第二，更新一下永磁靶后面的磁铁，换成NbFeB等强磁性物质。
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xxxxxxxxxxxxx
3楼2009-04-18 12:15:35
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by ufoer at 2009-4-18 12:15:
不过如果实在没有电磁靶的话，可以考虑做以下两点工作。第一，把你的靶材切得比较薄，1mm左右吧，这样能减少磁力线的吸收。第二，更新一下永磁靶后面的磁铁，换成NbFeB等强磁性物质。

学习了
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4楼2009-04-18 19:18:03
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bandaoti

лл
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5楼2009-04-21 11:23:57
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bandaoti

★
amannnn(金币+1,VIP+0):鼓励新虫多交流 4-21 12:40
如果垫上一个非铁磁材料再放铁靶会不会有效果呢？
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6楼2009-04-21 11:27:40
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corny

银虫 (初入文坛)
★
amannnn(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-21 12:39
尽量让Fe靶薄就可以了上面放上垫圈
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7楼2009-04-21 11:58:34
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bandaoti

谢谢，我试一下，希望能将膜镀上去
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8楼2009-04-22 08:21:11
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