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shuxiao0811

金虫 (小有名气)


[交流] 电子束蒸镀Au膜的速率一般是多少?

CVD生长的二硫化钼制作电极,采用电子束蒸镀金膜,设置的速率是0.3埃/s,厚度50nm,但是蒸镀出来的厚度只有20nm,而且做lift-off金膜全掉了!想问一下,电子束蒸镀金的速率一般设为多少比较合适呢?
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