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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 电子束蒸镀Au膜的速率一般是多少？
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shuxiao0811

金虫 (小有名气)

[交流] 电子束蒸镀Au膜的速率一般是多少？

CVD生长的二硫化钼制作电极，采用电子束蒸镀金膜，设置的速率是0.3埃/s，厚度50nm，但是蒸镀出来的厚度只有20nm，而且做lift-off金膜全掉了！想问一下，电子束蒸镀金的速率一般设为多少比较合适呢？
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1楼 2018-11-09 15:38:46
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
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2楼2018-11-09 15:44:31
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一群唱戏的

铁杆木虫 (著名写手)
★
shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
祝好！

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5楼2018-11-09 15:56:21
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1091781229

铜虫 (初入文坛)
★
shuxiao0811(金币+1): 谢谢参与
注水

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9楼2018-11-09 18:13:43
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萧然18

禁虫 (正式写手)
★
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17楼2018-11-15 06:53:22
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youngen3楼
2018-11-09 15:48   回复  
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tzynew4楼
2018-11-09 15:55   回复  
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slytjiaofei6楼
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nono20097楼
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syhorchid8楼
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xiaoqiuqiu2010楼
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Biotage11楼
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kingluck12楼
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psylhh14楼
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yanbodr20楼
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