| 查看: 2042 | 回复: 15 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者天无霜1234将赠送您 30 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射铁镓合金已有1人参与
|
||
|
诸位大佬。小弟最近在做直流磁控溅射铁镓合金。合金纯度99.95。3mm厚。50.8mm直径。用的是kurt lesker PVD75仪器。 试过好多次。无法起辉。无论加多少瓦特。仪器每次显示4到6瓦。电压在900多V。电流则很小。 用高斯计测过无靶材的磁场强度大概在0.2T左右。有一小部分区域数值显示很低在0.1T左右。都是在离物体1mm左右距离测得。加靶材的磁场大小在溅射区域是10-15mT。靶材中心区域在5mT左右。腔体气压大约在10负五次方到负六之间。 正常通氩气后在10mTorr左右。调节过氩气量还是没法起辉。 用Sb则是很容易正常起辉。 想问下各位大佬。有什么建议或办法让铁镓起辉。kurt 建议是用1。5mm厚的靶。说实话割了不好使的话太费时间了。通过学校买靶材要好长时间。 |
回复此楼» 猜你喜欢
tableau 10.5 数 据 分 拆 软 件
已经有0人回复
-
MOF扫描电镜的图片
已经有1人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有105人回复
-
青岛科技大学招聘电催化方向教授、副教授和博士后
已经有5人回复
-
ACS ID 投稿时发现登不上去，是什么原因呢？
已经有4人回复
-
求助钯钴合金的腐蚀方法，化学腐蚀和电化学腐蚀都需要
已经有0人回复
-
关于微波法还原氧化石墨烯
已经有0人回复
sciencetechn
新虫 (小有名气)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 60.4
- 红花: 2
- 帖子: 105
- 在线: 16.5小时
- 虫号: 4044840
- 注册: 2015-08-31
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
15楼2018-12-20 11:23:10
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2018-10-18 19:03:55
3楼2018-10-18 19:18:25
king.jin
新虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 243.4
- 帖子: 85
- 在线: 7.9小时
- 虫号: 6693319
- 注册: 2017-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2018-10-19 12:08:14
6