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磁控溅射铁镓合金已有1人参与
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诸位大佬。小弟最近在做直流磁控溅射铁镓合金。合金纯度99.95。3mm厚。50.8mm直径。用的是kurt lesker PVD75仪器。 试过好多次。无法起辉。无论加多少瓦特。仪器每次显示4到6瓦。电压在900多V。电流则很小。 用高斯计测过无靶材的磁场强度大概在0.2T左右。有一小部分区域数值显示很低在0.1T左右。都是在离物体1mm左右距离测得。加靶材的磁场大小在溅射区域是10-15mT。靶材中心区域在5mT左右。腔体气压大约在10负五次方到负六之间。 正常通氩气后在10mTorr左右。调节过氩气量还是没法起辉。 用Sb则是很容易正常起辉。 想问下各位大佬。有什么建议或办法让铁镓起辉。kurt 建议是用1。5mm厚的靶。说实话割了不好使的话太费时间了。通过学校买靶材要好长时间。 |
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15楼2018-12-20 11:23:10
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