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XSM815498719铁虫 (小有名气)
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[求助]
单晶硅片的耐热温度以及工装夹具 已有2人参与
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小弟想用单晶硅片做基材沉积薄膜，有几个问题希望得到大家的帮助，谢谢： 1，硅片一般是怎么放置的，它的工装夹具怎么做？ 2，硅片的耐热范围是多少，1000度的环境能不能用硅片？ 3，薄膜沉积时怎么防止硅片破碎？ |
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yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2018-09-25 16:51:14
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2楼2018-09-25 12:58:00
二虎山杰
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2019-01-07 01:52:48