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XSM815498719

铁虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅片的耐热温度以及工装夹具 已有2人参与

小弟想用单晶硅片做基材沉积薄膜,有几个问题希望得到大家的帮助,谢谢:

1,硅片一般是怎么放置的,它的工装夹具怎么做?

2,硅片的耐热范围是多少,1000度的环境能不能用硅片?

3,薄膜沉积时怎么防止硅片破碎?
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涂层开发工程师,微信xsm815498719
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091820053

禁虫 (知名作家)

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2楼2018-09-25 12:58:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

如果是1000°C的沉积,一般是MOCVD之类的,放置就是平放,需要沉积的面冲上。
1000°C当然能用硅片。
沉积时没有外力和应力的话,硅片不会碎。
但是片子一定要用干净的片子,可以联系研材微纳。如果片子本身不干净,那么沉积的薄膜会有缺陷和脱落的问题。
3楼2018-09-25 16:51:14
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二虎山杰

新虫 (小有名气)

我的多弧镀Ti,设置温度两百度左右,硅片都碎了

发自小木虫Android客户端
4楼2019-01-07 01:52:48
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