24小时热门版块排行榜    

查看: 2792  |  回复: 3

XSM815498719

铁虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅片的耐热温度以及工装夹具 已有2人参与

小弟想用单晶硅片做基材沉积薄膜,有几个问题希望得到大家的帮助,谢谢:

1,硅片一般是怎么放置的,它的工装夹具怎么做?

2,硅片的耐热范围是多少,1000度的环境能不能用硅片?

3,薄膜沉积时怎么防止硅片破碎?
回复此楼

» 猜你喜欢

涂层开发工程师,微信xsm815498719
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-09-25 12:58:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

如果是1000°C的沉积,一般是MOCVD之类的,放置就是平放,需要沉积的面冲上。
1000°C当然能用硅片。
沉积时没有外力和应力的话,硅片不会碎。
但是片子一定要用干净的片子,可以联系研材微纳。如果片子本身不干净,那么沉积的薄膜会有缺陷和脱落的问题。
3楼2018-09-25 16:51:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二虎山杰

新虫 (小有名气)

我的多弧镀Ti,设置温度两百度左右,硅片都碎了

发自小木虫Android客户端
4楼2019-01-07 01:52:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 XSM815498719 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化学工程321分求调剂 +9 大米饭! 2026-03-15 12/600 2026-03-16 21:59 by 大米饭!
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 312求调剂 +3 陌宸希 2026-03-16 4/200 2026-03-16 15:06 by peike
[考研] 机械专硕调剂 +3 笨笨兔子 2026-03-12 3/150 2026-03-15 20:02 by 栗子粥?
[考研] 289求调剂 +5 步川酷紫123 2026-03-11 5/250 2026-03-15 00:45 by kruisytel
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-10 11/550 2026-03-14 12:18 by 邱gl
[考研] 一志愿华中农业大学071010,总分三百二,求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:35 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 336求调剂 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] (081700)化学工程与技术-298分求调剂 +12 11啦啦啦 2026-03-11 35/1750 2026-03-13 21:25 by JourneyLucky
[考研] 285化工学硕求调剂(081700) +6 柴郡猫_ 2026-03-12 6/300 2026-03-13 20:46 by hmn_wj
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 283求调剂,材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
[考研] 279求调剂 +3 莫xiao 2026-03-10 4/200 2026-03-11 08:06 by 斩魂滴兔子!
[考博] 26申博求助 +3 跳跃饼干 2026-03-10 4/200 2026-03-10 21:15 by Tntcnn
[考研] 一志愿:武汉理工,材料工程,英二数二 总分314 +3 2202020125 2026-03-10 4/200 2026-03-10 13:54 by xiongyaxuan
信息提示
请填处理意见