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碧海蓝天5087

[交流] 【请教】磁控溅射法能制备Fe3O4薄膜或者颗粒吗?

如题,谢谢!
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life


dgf2008(金币+1,VIP+0):谢谢应助!! 4-5 22:53
Fe3O4薄膜是可以制备的,但由于Fe3O4靶不导电,估计你得用射频溅射。颗粒不能制备
xxxxxxxxxxxxx
2楼2009-04-05 11:09:04
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by ufoer at 2009-4-5 11:09:
Fe3O4薄膜是可以制备的,但由于Fe3O4靶不导电,估计你得用射频溅射。颗粒不能制备

您说的意思是直接用Fe3O4陶瓷靶溅射?
3楼2009-04-05 12:33:52
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sensing5668

木虫 (小有名气)


dgf2008(金币+1,VIP+0):谢谢应助!! 4-5 22:53
普通的磁控溅射用磁性靶,制备磁性薄膜还是有些难度的,一般用对靶,或是电磁靶
4楼2009-04-05 21:53:12
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by sensing5668 at 2009-4-5 21:53:
普通的磁控溅射用磁性靶,制备磁性薄膜还是有些难度的,一般用对靶,或是电磁靶

我们的装置就是对向靶的,一般得到的好像是Fe2O3,有什么好办法让他生成Fe2O4?谢啦!
5楼2009-04-06 00:04:40
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sensing5668

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by sensing5668 at 2009-4-5 21:53:
普通的磁控溅射用磁性靶,制备磁性薄膜还是有些难度的,一般用对靶,或是电磁靶

这个大概需要摸索下磁控溅射的条件,这种Fe的氧化物不很常见啊
6楼2009-04-07 22:03:11
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

哇啊~~排队学习一下!
谢谢支持材料区@小木虫论坛
7楼2009-04-07 23:43:32
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doublewei

银虫 (小有名气)


memser(金币+1,VIP+0):感谢应助,欢迎常来微纳版,非常感谢啊:) 4-8 20:38
调节Ar/O2的比例。当你的氧气含量保持在生成FeO和Fe2O3的中间某一值时,可能就能制的
8楼2009-04-08 19:51:27
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bingbingbing

★ ★
dgf2008(金币+2,VIP+0):谢谢 4-8 22:22
可以制备的。
直流磁控溅射法:靶座表面磁场4000Oe可以保证2.5毫米铁靶起辉,调整氩气与氧气比例,进入溅射腔之前充分混合,可以得到Fe3O4。
射频磁控溅射法:对靶座表面磁场也有一定要求,采用陶瓷靶Fe3O4,溅射过程中最好也通入一定氧气。
9楼2009-04-08 21:29:55
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life


memser(金币+1,VIP+0):感谢提供帮助,欢迎常来微纳版交流、讨论!期待您介绍更多的朋友来这里! 4-9 11:24
是啊,何不直接做Fe3O4的陶瓷靶呢。然后在溅射过程中再稍微改变一下氧氩比,就可以很容易地控制成分
xxxxxxxxxxxxx
10楼2009-04-08 23:09:38
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