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437057801

新虫 (初入文坛)
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Zr靶磁控溅射
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请问为什么Zr靶材进行磁控溅射的时候起辉困难，并且很难在低的工作气压（Ar）下保持原有功率呢？

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1楼 2018-09-01 11:25:12
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437057801

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
40楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-09-10 21:54:17
首先你的功率已经到了一个不低的数值，氩气减少，电子密度较少，电流降低，功率自然就降低了
...

谢谢您，继续摸索

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41楼2018-09-11 17:26:57
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fbbqt2楼
2018-09-01 11:25   回复  
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tzynew3楼
2018-09-01 11:25   回复  
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Allen1014楼
2018-09-01 11:27   回复  
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huangkels5楼
2018-09-01 11:27   回复  
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起个口舍名？6楼
2018-09-01 11:28   回复  
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李小罗7楼
2018-09-01 11:29   回复  
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diadia_888楼
2018-09-01 11:31   回复  
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景189楼
2018-09-01 11:33   回复  
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蜡笔筱新10楼
2018-09-01 11:34   回复  
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iro_ste_met11楼
2018-09-01 11:34   回复  
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星星seven12楼
2018-09-01 11:35   回复  
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yangjh0813楼
2018-09-01 11:40   回复  
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lcn52014楼
2018-09-01 11:42   回复  
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