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新虫 (初入文坛)


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Zr靶磁控溅射
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请问为什么Zr靶材进行磁控溅射的时候起辉困难,并且很难在低的工作气压(Ar)下保持原有功率呢?

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iro_ste_met

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建议查一下锆的晶体结构。

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37楼2018-09-01 13:42:04
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L小懒虫

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
37楼: Originally posted by iro_ste_met at 2018-09-01 13:42:04
建议查一下锆的晶体结构。

需要给出真空度,功率等数值才好分析

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38楼2018-09-03 05:55:21
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新虫 (初入文坛)


引用回帖:
38楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-09-03 05:55:21
需要给出真空度,功率等数值才好分析
...

溅射前仓内真空度10-7,溅射时用7mT氩气环境下起辉,功率300W。当降低工作气压至4-5mT时,靶材不再起辉,功率骤降

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39楼2018-09-10 15:02:43
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L小懒虫

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
39楼: Originally posted by 437057801 at 2018-09-10 15:02:43
溅射前仓内真空度10-7,溅射时用7mT氩气环境下起辉,功率300W。当降低工作气压至4-5mT时,靶材不再起辉,功率骤降
...

首先你的功率已经到了一个不低的数值,氩气减少,电子密度较少,电流降低,功率自然就降低了

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40楼2018-09-10 21:54:17
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437057801

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
40楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-09-10 21:54:17
首先你的功率已经到了一个不低的数值,氩气减少,电子密度较少,电流降低,功率自然就降低了
...

谢谢您,继续摸索

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41楼2018-09-11 17:26:57
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fbbqt2楼
2018-09-01 11:25   回复  
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tzynew3楼
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Allen1014楼
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huangkels5楼
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李小罗7楼
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diadia_888楼
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景189楼
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yangjh0813楼
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lcn52014楼
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pdl199115楼
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zhao18423416楼
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y83827204217楼
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rzxunchang18楼
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KDME19楼
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onesaid23楼
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2018-09-01 12:34   回复  
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LOSTF-200225楼
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ylheping26楼
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pandongzi27楼
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zbg21900128楼
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蓝鼠30楼
2018-09-01 13:09   回复  
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09182005333楼
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2018-09-01 13:38   回复  
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