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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » Zr靶磁控溅射
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437057801

新虫 (初入文坛)
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Zr靶磁控溅射
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请问为什么Zr靶材进行磁控溅射的时候起辉困难，并且很难在低的工作气压（Ar）下保持原有功率呢？

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1楼 2018-09-01 11:25:12
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iro_ste_met

新虫 (著名写手)
★
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建议查一下锆的晶体结构。

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37楼2018-09-01 13:42:04
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
37楼: Originally posted by iro_ste_met at 2018-09-01 13:42:04
建议查一下锆的晶体结构。

需要给出真空度，功率等数值才好分析

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38楼2018-09-03 05:55:21
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437057801

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
38楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-09-03 05:55:21
需要给出真空度，功率等数值才好分析
...

溅射前仓内真空度10-7，溅射时用7mT氩气环境下起辉，功率300W。当降低工作气压至4-5mT时，靶材不再起辉，功率骤降

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39楼2018-09-10 15:02:43
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
39楼: Originally posted by 437057801 at 2018-09-10 15:02:43
溅射前仓内真空度10-7，溅射时用7mT氩气环境下起辉，功率300W。当降低工作气压至4-5mT时，靶材不再起辉，功率骤降
...

首先你的功率已经到了一个不低的数值，氩气减少，电子密度较少，电流降低，功率自然就降低了

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40楼2018-09-10 21:54:17
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437057801

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
40楼: Originally posted by L小懒虫 at 2018-09-10 21:54:17
首先你的功率已经到了一个不低的数值，氩气减少，电子密度较少，电流降低，功率自然就降低了
...

谢谢您，继续摸索

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41楼2018-09-11 17:26:57
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fbbqt2楼
2018-09-01 11:25   回复  
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tzynew3楼
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Allen1014楼
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huangkels5楼
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起个口舍名？6楼
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李小罗7楼
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diadia_888楼
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景189楼
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蜡笔筱新10楼
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iro_ste_met11楼
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星星seven12楼
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yangjh0813楼
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lcn52014楼
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pdl199115楼
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zhao18423416楼
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y83827204217楼
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rzxunchang18楼
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greenfly36楼
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