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磁控溅射不同基底对薄膜的影响
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mokanuotu
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磁控溅射不同基底对薄膜的影响
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求赐教:薄膜镀在不锈钢和单晶硅片上,有差异吗?我镀的是硼化物陶瓷,特别是XPS,SEM,俄歇等,好像好多文章表征都是用的硅片表征
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霸天虎123
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有差异,薄膜生长需要晶格匹配,匹配度不应该差太多,多的话,薄膜生长有影响,而不锈钢和单晶硅属于不同衬底,生长情况肯定不同啊!
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10楼
2018-08-24 15:08:12
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hdchina2010
2楼
2018-08-24 14:58
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窗里窗外
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2018-08-24 14:59
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tzynew
4楼
2018-08-24 15:03
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mhl409945
5楼
2018-08-24 15:04
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aa小小佑
6楼
2018-08-24 15:04
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霸天虎123
7楼
2018-08-24 15:04
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pandongzi
8楼
2018-08-24 15:05
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echon
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2018-08-24 15:05
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yangjh08
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2018-08-24 15:09
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我乃小白
12楼
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hc824
13楼
2018-08-24 15:11
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不死小强hui
14楼
2018-08-24 15:11
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wlq1533
15楼
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liujunhero
16楼
2018-08-24 15:12
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