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mokanuotu

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磁控溅射不同基底对薄膜的影响
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求赐教:薄膜镀在不锈钢和单晶硅片上,有差异吗?我镀的是硼化物陶瓷,特别是XPS,SEM,俄歇等,好像好多文章表征都是用的硅片表征

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霸天虎123

铜虫 (小有名气)



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有差异,薄膜生长需要晶格匹配,匹配度不应该差太多,多的话,薄膜生长有影响,而不锈钢和单晶硅属于不同衬底,生长情况肯定不同啊!

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10楼2018-08-24 15:08:12
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2018-08-24 14:58   回复  
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pandongzi8楼
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echon9楼
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hc82413楼
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