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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 测金属薄膜表面自然氧化层的不超过几个nm的厚度，可以用什么测试方法/仪器呢？
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zuiaiyusoo

新虫 (初入文坛)

[交流] 测金属薄膜表面自然氧化层的不超过几个nm的厚度，可以用什么测试方法/仪器呢？ 已有7人参与

想 请教一下大家，如果要测Si（111）/NiFe薄膜表面氧化层厚度，用什么方法合适呢？表面是自然氧化的，没通氧气没退火，所以氧化层很薄，XPS计算拟合出来还不到1nm，最多也就一两个个nm吧，薄膜总共几十nm。

之前问过TEM，测试老师说取样很难，会有很多假相，他只试过几个nm的测试，所以很有可能做不出来。

请问大家，通常这种厚度的，用什么方法更好呢？
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薄膜材料和器件表征

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1楼 2018-08-15 12:29:01
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shahuhu123

禁虫 (小有名气)
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2楼2018-08-15 14:01:05
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
表面粗糙度如何？很光滑的话可以考虑XRR方法

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3楼2018-08-15 22:42:49
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
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TEM,手磨或者fib，制样难度肯定是有，不过应该能做的，做个eels看表面福集

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4楼2018-08-15 23:13:58
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zuiaiyusoo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by QQ2668174903 at 2018-08-15 22:42:49
表面粗糙度如何？很光滑的话可以考虑XRR方法

谢谢您的回复，我去查查XRR嘻嘻。表面粗糙度还没测过，但学校这台仪器镀的膜，又比较薄，我感觉应该不会特别的光滑…
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5楼2018-08-16 09:34:10
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zuiaiyusoo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-08-15 23:13:58
TEM,手磨或者fib，制样难度肯定是有，不过应该能做的，做个eels看表面福集

谢谢您的回复，我去查查了解一下，没做过您说的这些呢。TEM测试的老师好像说他以前都用的胶粘的。
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6楼2018-08-16 09:36:13
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蕊诺SS

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supernatural: 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下联系方式，请站内短消息联系 2018-08-21 09:03:31
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7楼2018-08-16 14:24:35
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颐光科技

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如果是几个纳米的厚度测试，推荐采用AFM或者椭偏仪进行测试，有需要可以跟我这边联系，谢谢。

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8楼2018-08-20 15:50:26
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beijiyu0

新虫 (初入文坛)
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9楼2018-08-23 19:34:01
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zuiaiyusoo

新虫 (初入文坛)
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10楼2018-09-06 10:09:45
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