磁控溅射镀膜，负偏压作用大吗？ - 材料工程 - 设备设计与开发

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luobingchi

新虫 (小有名气)

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负偏压能够吸引多少带电离子轰击基片，对薄膜生长形态影响大吗?论文上很多结果不太相信，想听听实际情况。

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磁控溅射

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1楼 2018-07-27 13:07:55

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L小懒虫

木虫 (著名写手)

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引用回帖:

14楼: Originally posted by luobingchi at 2018-07-29 12:22:19
我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

不同批次的话就没有可比性了，不同批次沉积环境肯定不一样的，局部温度，等离子体密度，气压，粒子能量都是不一样的，而且你在炉子里的摆放位置以及角度都是有影响的，此外，偏压线性变化对粒子能量的影响不是线性的，还有变角效应，基体表面状况是否有利于形核，能量大了反溅射速率大于沉积速率等等。

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