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luobingchi

新虫 (小有名气)


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磁控溅射镀膜,负偏压作用大吗?
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负偏压能够吸引多少带电离子轰击基片,对薄膜生长形态影响大吗?论文上很多结果不太相信,想听听实际情况。

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L小懒虫

木虫 (著名写手)



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有很大影响,可以影响核的形成速度的增长速度,可以对沉积粒子进行选择,可以提高涂层粒子饶射性等等诸多影响

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12楼2018-07-27 13:53:30
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20095173

至尊木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
影响大不大,你做一下对比就知道了。直流溅射做氮化钛,不加偏压和加了偏压。应力,硬度等参数,完全不一样。

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13楼2018-07-27 14:26:08
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luobingchi

新虫 (小有名气)


我总觉得影响不大,不同批次和时间制备的薄膜,应力,硬度,微结构,都存在差别,主要是负偏压施加,增加了多少粒子,能否测一下

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14楼2018-07-29 12:22:19
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L小懒虫

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by luobingchi at 2018-07-29 12:22:19
我总觉得影响不大,不同批次和时间制备的薄膜,应力,硬度,微结构,都存在差别,主要是负偏压施加,增加了多少粒子,能否测一下

不同批次的话就没有可比性了,不同批次沉积环境肯定不一样的,局部温度,等离子体密度,气压,粒子能量都是不一样的,而且你在炉子里的摆放位置以及角度都是有影响的,此外,偏压线性变化对粒子能量的影响不是线性的,还有变角效应,基体表面状况是否有利于形核,能量大了反溅射速率大于沉积速率等等。

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15楼2018-07-29 17:58:06
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梦幻1993

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
说实话,你要同一批次测还行,不同批次肯定都不一样的
16楼2018-08-06 09:42:29
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luobingchi

新虫 (小有名气)


你们说的都合理,影响薄膜因素众多,很难开展单因素分解实验,某个因素对薄膜影响权值也难知晓。因此,很难判断负偏压对薄膜的影响大小。

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17楼2018-08-11 18:57:30
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tzynew2楼
2018-07-27 13:08   回复  
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cjinfor4楼
2018-07-27 13:13   回复  
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mqq12155楼
2018-07-27 13:14   回复  
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SW72AZ6楼
2018-07-27 13:14   回复  
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storm0099楼
2018-07-27 13:33   回复  
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pandongzi10楼
2018-07-27 13:37   回复  
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greenfly11楼
2018-07-27 13:37   回复  
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