应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 设备设计与开发 » 磁控溅射镀膜，负偏压作用大吗？
171/1返回列表
查看: 3533  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

luobingchi

新虫 (小有名气)
已领完
磁控溅射镀膜，负偏压作用大吗？
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

负偏压能够吸引多少带电离子轰击基片，对薄膜生长形态影响大吗?论文上很多结果不太相信，想听听实际情况。

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射

» 猜你喜欢
1楼 2018-07-27 13:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有很大影响，可以影响核的形成速度的增长速度，可以对沉积粒子进行选择，可以提高涂层粒子饶射性等等诸多影响

发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2018-07-27 13:53:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

20095173

至尊木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
影响大不大，你做一下对比就知道了。直流溅射做氮化钛，不加偏压和加了偏压。应力，硬度等参数，完全不一样。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
13楼2018-07-27 14:26:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luobingchi

新虫 (小有名气)
我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
14楼2018-07-29 12:22:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by luobingchi at 2018-07-29 12:22:19
我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

不同批次的话就没有可比性了，不同批次沉积环境肯定不一样的，局部温度，等离子体密度，气压，粒子能量都是不一样的，而且你在炉子里的摆放位置以及角度都是有影响的，此外，偏压线性变化对粒子能量的影响不是线性的，还有变角效应，基体表面状况是否有利于形核，能量大了反溅射速率大于沉积速率等等。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
15楼2018-07-29 17:58:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦幻1993

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
说实话，你要同一批次测还行，不同批次肯定都不一样的
赞一下 回复此楼
16楼2018-08-06 09:42:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

luobingchi

新虫 (小有名气)
你们说的都合理，影响薄膜因素众多，很难开展单因素分解实验，某个因素对薄膜影响权值也难知晓。因此，很难判断负偏压对薄膜的影响大小。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
17楼2018-08-11 18:57:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
tzynew2楼
2018-07-27 13:08   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
hdchina20103楼
2018-07-27 13:08   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
cjinfor4楼
2018-07-27 13:13   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
mqq12155楼
2018-07-27 13:14   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
SW72AZ6楼
2018-07-27 13:14   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
littlemouse7楼
2018-07-27 13:15   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
闻道尤浅8楼
2018-07-27 13:28   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
storm0099楼
2018-07-27 13:33   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
pandongzi10楼
2018-07-27 13:37   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
greenfly11楼
2018-07-27 13:37   回复  
luobingchi(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 luobingchi 的主题更新
171/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 06:20 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 5/250 2026-11-02 06:07 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 13/650 2026-11-02 06:03 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 11/550 2026-11-02 06:00 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 10/500 2026-11-02 06:00 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 14/700 2026-11-02 05:41 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 21/1050 2026-11-02 05:41 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 17/850 2026-11-02 05:34 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 4/200 2026-11-02 03:50 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-02 03:39 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 16/800 2026-11-02 02:34 by xzcv0Tehd8lQ
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-01 22:24 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 7/350 2026-11-01 21:45 by xzcv0Tehd8lQ
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 16/800 2026-11-01 21:19 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 越来越担心硕士毕业后没有竞争力了 +9 zuesli 2026-10-27 15/750 2026-11-01 12:59 by Equinoxhua
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 3/150 2026-11-01 12:53 by BCdvBAEpt3zm
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 5/250 2026-11-01 12:51 by BCdvBAEpt3zm
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 7/350 2026-11-01 12:40 by BCdvBAEpt3zm
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 10/500 2026-11-01 12:27 by BCdvBAEpt3zm
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 11/550 2026-11-01 12:24 by BCdvBAEpt3zm
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭