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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 设备设计与开发 » 磁控溅射镀膜，负偏压作用大吗？
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luobingchi

新虫 (小有名气)
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磁控溅射镀膜，负偏压作用大吗？
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负偏压能够吸引多少带电离子轰击基片，对薄膜生长形态影响大吗?论文上很多结果不太相信，想听听实际情况。

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1楼 2018-07-27 13:07:55
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
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有很大影响，可以影响核的形成速度的增长速度，可以对沉积粒子进行选择，可以提高涂层粒子饶射性等等诸多影响

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12楼2018-07-27 13:53:30
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20095173

至尊木虫 (正式写手)
★
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影响大不大，你做一下对比就知道了。直流溅射做氮化钛，不加偏压和加了偏压。应力，硬度等参数，完全不一样。

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13楼2018-07-27 14:26:08
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luobingchi

新虫 (小有名气)
我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

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14楼2018-07-29 12:22:19
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
14楼: Originally posted by luobingchi at 2018-07-29 12:22:19
我总觉得影响不大，不同批次和时间制备的薄膜，应力，硬度，微结构，都存在差别，主要是负偏压施加，增加了多少粒子，能否测一下

不同批次的话就没有可比性了，不同批次沉积环境肯定不一样的，局部温度，等离子体密度，气压，粒子能量都是不一样的，而且你在炉子里的摆放位置以及角度都是有影响的，此外，偏压线性变化对粒子能量的影响不是线性的，还有变角效应，基体表面状况是否有利于形核，能量大了反溅射速率大于沉积速率等等。

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15楼2018-07-29 17:58:06
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梦幻1993

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
说实话，你要同一批次测还行，不同批次肯定都不一样的
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16楼2018-08-06 09:42:29
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luobingchi

新虫 (小有名气)
你们说的都合理，影响薄膜因素众多，很难开展单因素分解实验，某个因素对薄膜影响权值也难知晓。因此，很难判断负偏压对薄膜的影响大小。

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17楼2018-08-11 18:57:30
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tzynew2楼
2018-07-27 13:08   回复  
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hdchina20103楼
2018-07-27 13:08   回复  
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cjinfor4楼
2018-07-27 13:13   回复  
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mqq12155楼
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SW72AZ6楼
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littlemouse7楼
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闻道尤浅8楼
2018-07-27 13:28   回复  
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storm0099楼
2018-07-27 13:33   回复  
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pandongzi10楼
2018-07-27 13:37   回复  
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greenfly11楼
2018-07-27 13:37   回复  
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