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【经典巨著】薄膜系列I《Principles of Vapor Deposition of Thin Films》
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本书系统地介绍了物理气象沉积制备薄膜的方法，内容涵盖薄膜制备方法（蒸镀、离子镀、溅射）、基片选择、外延生长条件、成膜动力学、以及结构与性能，做真空薄膜功能材料的虫虫可以作为一个参考工具书 不要忘了评价哟  http://www.namipan.com/d/e409255 ... b968f86428531b17400 [ Last edited by ufoer on 2009-3-31 at 20:43 ] |
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