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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 关于磁控溅射辉光问题，大神帮帮忙
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

[求助] 关于磁控溅射辉光问题，大神帮帮忙 已有1人参与

我们实验室有一台磁控溅射设备，一直用的是直流溅射，之前一直是正常状态，后来不知道什么原因辉光颜色就变了，同样的工作条件下从蓝色变成了紫色，这样镀出来的膜是彩色的，如果增加功率的话辉光又变回了蓝色，工程师说可能是靶的磁场强度变了，我们把靶头寄回去修了之后发现还是这个现象，想请教一下各位大神有没有遇到过这种现象，是什么原因造成的呢，有没有什么解决办法，感激不尽
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-07-06 22:47:52
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
朔朔朔朔: 金币+10, ★★★很有帮助 2018-07-11 13:47:07
纯Ar气磁控溅射，常规我观察到的辉光基本为介于蓝色和紫色的（不知道是不是不同辉光层，呈现的颜色不一样）
实际情况下，辉光颜色跟气压和靶材都有关的，貌似陶瓷靶材溅射更偏向紫色。

如果突变，你的气体纯度有无变化，真空度有无突变（腔体水汽多，靶材表面污染）等等来 辅助查找原因。

你主要关注膜层性能有无差别吧，希望能找到原因。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
10楼2018-07-09 15:00:27
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普通回帖

lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
靶材厚度，电压距离

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2楼2018-07-07 00:27:53
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lqm070 at 2018-07-07 00:27:53
靶材厚度，电压距离

靶材用的是之前同样的靶材，也换过几个靶材，都不是强磁性的靶材，还是会出现同样的问题，您指的电压距离是什么意思，是指靶材和基片的距离吗
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3楼2018-07-07 08:30:43
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cowboysling

木虫 (正式写手)
工作气氛是否有改变？

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4楼2018-07-07 09:26:08
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by cowboysling at 2018-07-07 09:26:08
工作气氛是否有改变？

工作气氛都是一样的，都是氩气，不过您说的这个问题也是有可能的，靶材取出来后表面被氧化了，打算换一瓶气体试试
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5楼2018-07-07 09:44:16
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 朔朔朔朔 at 2018-07-07 08:30:43
靶材用的是之前同样的靶材，也换过几个靶材，都不是强磁性的靶材，还是会出现同样的问题，您指的电压距离是什么意思，是指靶材和基片的距离吗...

不是

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6楼2018-07-07 11:56:46
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
我们的炉子也有时候会镀出彩色的膜，我们是用分子泵抽上一两天再做，彩色膜就不出现啦

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7楼2018-07-07 12:32:18
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
靶料是什么？

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8楼2018-07-07 15:37:20
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
真空室脏污，需要清理了吗？

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9楼2018-07-07 15:38:13
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