9楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-07 15:38:13
真空室脏污，需要清理了吗？

10楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 15:00:27
纯Ar气磁控溅射，常规我观察到的辉光基本为介于蓝色和紫色的（不知道是不是不同辉光层，呈现的颜色不一样）
实际情况下，辉光颜色跟气压和靶材都有关的，貌似陶瓷靶材溅射更偏向紫色。

如果突变，你的气体纯度有 ...

7楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2018-07-07 12:32:18
我们的炉子也有时候会镀出彩色的膜，我们是用分子泵抽上一两天再做，彩色膜就不出现啦

13楼: Originally posted by 朔朔朔朔 at 2018-07-11 13:49:44
嗯嗯，我现在也是把本底真空抽的久一点...