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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-07 15:38:13
真空室脏污,需要清理了吗?

嗯呢,已经清理完了,现在已经找到原因啦,由于气体不纯导致的,谢谢您的回复
11楼2018-07-11 13:46:36
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 15:00:27
纯Ar气磁控溅射,常规我观察到的辉光基本为介于蓝色和紫色的(不知道是不是不同辉光层,呈现的颜色不一样)
实际情况下,辉光颜色跟气压和靶材都有关的,貌似陶瓷靶材溅射更偏向紫色。

如果突变,你的气体纯度有 ...

嗯嗯,谢谢,已经排除了下原因,应该是气体不纯导致的,现在已经正常啦
12楼2018-07-11 13:47:45
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2018-07-07 12:32:18
我们的炉子也有时候会镀出彩色的膜,我们是用分子泵抽上一两天再做,彩色膜就不出现啦

嗯嗯,我现在也是把本底真空抽的久一点
13楼2018-07-11 13:49:44
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今夕何夕。

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
13楼: Originally posted by 朔朔朔朔 at 2018-07-11 13:49:44
嗯嗯,我现在也是把本底真空抽的久一点...

请问你每一次都抽的很久吗

发自小木虫IOS客户端
14楼2018-09-18 19:45:47
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