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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 关于磁控溅射辉光问题，大神帮帮忙
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by lywzd16 at 2018-07-07 15:38:13
真空室脏污，需要清理了吗？

嗯呢，已经清理完了，现在已经找到原因啦，由于气体不纯导致的，谢谢您的回复
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11楼2018-07-11 13:46:36
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-07-09 15:00:27
纯Ar气磁控溅射，常规我观察到的辉光基本为介于蓝色和紫色的（不知道是不是不同辉光层，呈现的颜色不一样）
实际情况下，辉光颜色跟气压和靶材都有关的，貌似陶瓷靶材溅射更偏向紫色。

如果突变，你的气体纯度有 ...

嗯嗯，谢谢，已经排除了下原因，应该是气体不纯导致的，现在已经正常啦
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12楼2018-07-11 13:47:45
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朔朔朔朔

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 不要这样叫我 at 2018-07-07 12:32:18
我们的炉子也有时候会镀出彩色的膜，我们是用分子泵抽上一两天再做，彩色膜就不出现啦

嗯嗯，我现在也是把本底真空抽的久一点
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13楼2018-07-11 13:49:44
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今夕何夕。

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 朔朔朔朔 at 2018-07-11 13:49:44
嗯嗯，我现在也是把本底真空抽的久一点...

请问你每一次都抽的很久吗

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14楼2018-09-18 19:45:47
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