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关于磁控溅射辉光问题,大神帮帮忙 已有1人参与
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| 我们实验室有一台磁控溅射设备,一直用的是直流溅射,之前一直是正常状态,后来不知道什么原因辉光颜色就变了,同样的工作条件下从蓝色变成了紫色,这样镀出来的膜是彩色的,如果增加功率的话辉光又变回了蓝色,工程师说可能是靶的磁场强度变了,我们把靶头寄回去修了之后发现还是这个现象,想请教一下各位大神有没有遇到过这种现象,是什么原因造成的呢,有没有什么解决办法,感激不尽 |
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13楼2018-07-11 13:49:44
2楼2018-07-07 00:27:53
3楼2018-07-07 08:30:43
cowboysling
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