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关于磁控溅射辉光问题，大神帮帮忙 已有1人参与
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| 我们实验室有一台磁控溅射设备，一直用的是直流溅射，之前一直是正常状态，后来不知道什么原因辉光颜色就变了，同样的工作条件下从蓝色变成了紫色，这样镀出来的膜是彩色的，如果增加功率的话辉光又变回了蓝色，工程师说可能是靶的磁场强度变了，我们把靶头寄回去修了之后发现还是这个现象，想请教一下各位大神有没有遇到过这种现象，是什么原因造成的呢，有没有什么解决办法，感激不尽 |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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cowboysling
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