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台阶仪主要技术参数已有1人参与
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| 想问一下有木有大神采购过台阶仪,目前台阶仪的主要技术参数主要考察那些?比如纵向精度之类的?谢谢大家,越全越好。 |
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5楼2018-07-15 19:46:55
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z向分辨率,探针角度和大小,可测样品尺寸范围,防震台有无,传感器类型是直动还是杠杆,是否有直线度精度保证,最终还要看你自己的实际应用,是个哪个型号或者品牌的台阶仪,这里需要分清楚两个概念:垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率,指的是高度方向上最小电势差代表的高度,比如某个型号最小量程6.5um,16位AD转换,代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率,这个值不代表最薄可测量膜厚,这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。 2.水平方向上,你问到的精度代表两个采样点之间的距离,比如dektak xt采样频率300Hz,即每秒钟采集300个点,100um长度,10s,共3000点,两点间隔100/3000=0.033um,这代表的是水平采样点间隔,不代表2um探针能深入到这么窄的槽里,2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的,时间影响点数,这两个概念没任何关系 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2018-07-04 06:57:12
3楼2018-07-04 11:11:35
4楼2018-07-10 00:05:26













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