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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » 台阶仪主要技术参数
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宁兰

银虫 (小有名气)

[求助] 台阶仪主要技术参数 已有1人参与

想问一下有木有大神采购过台阶仪，目前台阶仪的主要技术参数主要考察那些？比如纵向精度之类的？谢谢大家，越全越好。
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1楼 2018-07-03 14:07:37
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逊棠

捐助贵宾 (正式写手)
z向分辨率，探针角度和大小，可测样品尺寸范围，防震台有无，传感器类型是直动还是杠杆，是否有直线度精度保证，最终还要看你自己的实际应用，是个哪个型号或者品牌的台阶仪，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率
1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，比如某个型号最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率，这个值不代表最薄可测量膜厚，这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。
2.水平方向上，你问到的精度代表两个采样点之间的距离，比如dektak xt采样频率300Hz，即每秒钟采集300个点，100um长度，10s，共3000点，两点间隔100/3000=0.033um，这代表的是水平采样点间隔，不代表2um探针能深入到这么窄的槽里，2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的，时间影响点数，这两个概念没任何关系

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2楼2018-07-04 06:57:12
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逊棠

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更多需求，可以微信交流

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3楼2018-07-04 11:11:35
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逊棠

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你们要申请预算么？我们刚刚卖了一台，对这个设备非常熟悉，怎么联系到你，

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4楼2018-07-10 00:05:26
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逊棠

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还有其他问题需要咨询么？

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5楼2018-07-15 19:46:55
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庭前流水

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 逊棠 at 2018-07-10 00:05:26
你们要申请预算么？我们刚刚卖了一台，对这个设备非常熟悉，怎么联系到你，

大概价位多少

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6楼2018-08-29 22:39:35
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海雨何时

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

怎么评估台阶仪性能

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼2020-05-17 14:38:19
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