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台阶仪主要技术参数 已有1人参与
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| 想问一下有木有大神采购过台阶仪，目前台阶仪的主要技术参数主要考察那些？比如纵向精度之类的？谢谢大家，越全越好。 |
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3楼2018-07-04 11:11:35
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z向分辨率，探针角度和大小，可测样品尺寸范围，防震台有无，传感器类型是直动还是杠杆，是否有直线度精度保证，最终还要看你自己的实际应用，是个哪个型号或者品牌的台阶仪，这里需要分清楚两个概念：垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率，指的是高度方向上最小电势差代表的高度，比如某个型号最小量程6.5um，16位AD转换，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即为垂直分辨率，这个值不代表最薄可测量膜厚，这个垂直分辨率和你扫描长度扫描时间无任何关系。 2.水平方向上，你问到的精度代表两个采样点之间的距离，比如dektak xt采样频率300Hz，即每秒钟采集300个点，100um长度，10s，共3000点，两点间隔100/3000=0.033um，这代表的是水平采样点间隔，不代表2um探针能深入到这么窄的槽里，2um探针能伸进多窄的槽是其几何形状限定的，时间影响点数，这两个概念没任何关系 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2018-07-04 06:57:12
4楼2018-07-10 00:05:26
5楼2018-07-15 19:46:55