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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 观察薄膜截面怎么制样
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

[求助] 观察薄膜截面怎么制样 已有2人参与

在硅片上沉积的薄膜，怎么来看薄膜的截面

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1楼 2018-06-28 15:09:14
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云芽海叶

新虫 (小有名气)
特殊切刀切片

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2楼2018-06-29 00:58:34
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PBBT

新虫 (正式写手)
你沉积的什么膜，厚度多少

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3楼2018-06-29 08:35:22
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水清浅snow

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用聚焦离子束加工技术（FIB）或者用传统制样方法（用砂纸研磨+离子减薄仪）
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4楼2018-06-29 15:31:43
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liuxinkxj

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
做透射或者扫描的话，用专用的胶将两个样品对粘一下，等胶固化以后连胶带样品一起切，切完再去减薄。
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不后悔
5楼2018-06-30 16:16:13
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by PBBT at 2018-06-29 08:35:22
你沉积的什么膜，厚度多少

高熵合金氮化物，五百纳米左右，做扫描电镜看一下截面

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6楼2018-07-02 07:20:34
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PBBT

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 生于北遇于南 at 2018-07-02 07:20:34
高熵合金氮化物，五百纳米左右，做扫描电镜看一下截面
...

我们刚拍过电子书镀膜Ti层截面  Ti层得厚度约为nm
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7楼2018-07-02 10:04:49
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PBBT

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 生于北遇于南 at 2018-07-02 07:20:34
高熵合金氮化物，五百纳米左右，做扫描电镜看一下截面
...

我们是在氧化硅上面沉积得膜  直接将硅片划开看得截面
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8楼2018-07-02 10:06:10
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生于北遇于南

新虫 (小有名气)
在电镜下截面非常模糊，看不清基体和膜的界面

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9楼2018-07-02 10:10:09
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冉冉CQ

新虫 (初入文坛)
用硅刀沿着硅片晶向方向点开硅片，直接拍截面

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10楼2018-07-11 14:30:38
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