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生于北遇于南

新虫 (小有名气)

[求助] 观察薄膜截面怎么制样 已有2人参与

在硅片上沉积的薄膜,怎么来看薄膜的截面

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liuxinkxj

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
做透射或者扫描的话,用专用的胶将两个样品对粘一下,等胶固化以后连胶带样品一起切,切完再去减薄。
不后悔
5楼2018-06-30 16:16:13
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云芽海叶

新虫 (小有名气)

2楼2018-06-29 00:58:34
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PBBT

新虫 (正式写手)


你沉积的什么膜,厚度多少

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3楼2018-06-29 08:35:22
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水清浅snow

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用聚焦离子束加工技术(FIB)或者用传统制样方法(用砂纸研磨+离子减薄仪)
4楼2018-06-29 15:31:43
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